ВВЕДЕНИЕ ........................................................ 5

ГЛАВА 1. МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕПЛОВОЙ ЭРОЗИИ ТВЕРДОГО ТЕЛА ПОД
ДЕЙСТВИЕМ МОЩНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ........... 12
1.1  Механизмы тепловой эрозии ................................. 13
1.2  Основные принципы математического описания тепловой
     эрозии под действием мощных потоков излучения ............. 16
1.3  Типы кинетики испарения поверхности в широком диапазоне
     плотности мощности излучения .............................. 20
1.4  Математическая модель тепловой эрозии под действием
     пучков заряженных частиц умеренной интенсивности .......... 25
1.5  Моделирование эрозионных процессов при облучении
     твердого тела высоко интенсивными пучками заряженных
     частиц .................................................... 42

ГЛАВА 2. ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ МОЩНЫХ
СУБМИКРОСЕКУНДНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ ................................ 51
2.1  Параметры мощных ионных пучков ............................ 51
2.2  Структура потока атомов с поверхности при эрозии под
     действием мощного ионного пучка ........................... 52
2.3  Распылительная составляющая эрозионного потока ............ 53
2.4  Испарительная составляющая эрозионного потока ............. 58
2.5  Распылительная и испарительная составляющие эрозионного
     потока: зависимость от параметров пучков .................. 86
2.6  Баланс энергии в процессах эрозии поверхности ............. 88
2.7  Классификация режимов эрозии при использовании
     субмикросекундных ионных пучков ........................... 94

ГЛАВА 3. ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ МОЩНЫХ
ИМПУЛЬСНЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ .................................. 97
3.1  Параметры мощных импульсных электронных пучков ............ 97
3.2  Функция энерговыделения и модель эрозии поверхности при
     импульсном электронном облучении ......................... 100
3.3  Особенности нагрева и испарения металлов под действием
     мощных импульсных электронных пучков ..................... 103
3.4  Интенсивность эрозии в зависимости от параметров пучков .. 109
3.5  Анализ энергоэффективности эрозионных процессов .......... 113
3.6  Мощные импульсные электронные и ионные пучки: сравнение
     эрозионных возможностей .................................. 118

ГЛАВА 4. ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПОД ДЕЙСТВИЕМ
ОСТРОСФОКУСИРОВАННЫХ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ................. 122
4.1  Параметры источников остросфокусированных сканирующих
     пучков заряженных частиц ................................. 123
4.2  Математическая модель тепловых и эрозионных процессов
     под действием остросфокусированных сканирующих пучков
     заряженных частиц ........................................ 125
4.3  Особенности тепловой эрозии под действием
     остросфокусированных сканирующих электронных пучков ...... 131
4.4  Производительность эрозионной обработки поверхности
     электронными пучками ..................................... 150

ГЛАВА 5. ПРИМЕНЕНИЕ ТЕПЛОВОЙ ЭРОЗИИ, СОЗДАВАЕМОЙ МОЩНЫМИ
ИМПУЛЬСНЫМИ ПУЧКАМИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, В ТЕХНОЛОГИЯХ
МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ ........................ 153
5.1  Осаждение модифицирующих покрытий	........................ 153
5.2  Использование тепловой эрозии в микрорельефной обработке
     поверхностей ............................................. 176

ГЛАВА 6. ЭРОЗИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЖИДК0ФАЗН0Й МИШЕНИ МАГНЕТРОНА ..... 188
6.1  Механизмы эмиссии атомов с поверхности жидкофазной
     мишени ................................................... 189
6.2  Баланс энергии в системе "мишень в тигле" и расчет
     температуры поверхности мишени магнетрона ................ 194
6.3  Интенсивность и энергетическая эффективность эрозии в
     зависимости от параметров магнетронного разряда и
     свойств вещества мишени .................................. 206
6.4  Осаждение пленок с помощью МРС с жидкофазными мишенями:
     соотношение вкладов распыления и испарения в потоке
     осаждаемого вещества ..................................... 214
6.5  Сравнение параметров осаждения покрытий при
     использовании МРС с жидкофазными мишенями и мощных
     субмикросекундных ионных пучков .......................... 220

ЗАКЛЮЧЕНИЕ .................................................... 226
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ...................................... 228